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實(shí)驗(yàn)型勻膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述：v適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

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詳細(xì)介紹

v 適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤(pán)

v 自動(dòng)滴膠功能

v 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗、控溫等功能模塊個(gè)性化定制

v 轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm

v 轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm

v 加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s

v 單步時(shí)長(zhǎng)：3000s

v 時(shí)間分辨率：0.1s


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